LuphoScan高速光学非球面3D测量系统
LuphoScan 260/420 HD测量台开创了光学表面高精密计量的新领域，能够测量物件角度大至90°度，绝对测量精度高于±50 nm (3σ) 。测量结果有着极高的重复性且低噪音。
可测量坡度极高的表面、具有不同间距方向的表面、极小的表面例如手机镜头模具。快速的、值得信赖的非球面表面非接触式三维形状测量。
物件坡度高至90°度，是测量大的、陡峭的和极小的非球面镜头（如手机镜头模具）的理想选择。
Power和PV测定参数的最佳稳定性。

型号	LuphScan120	LuphScan260	LuphScan420
最大测量直径	Φ120mm	Φ260mm	Φ420mm
表面形状	球面、非球面、平面、自由曲面
纵向分辨率	0.1nm
精度	50nm	250nm	1μmmiu
特点	LuphoScan基于独特多波长干涉技术（MWLI）的干涉扫描系统，专为旋转对称的超精密非接触3D形状测量而设计。四个精密工作台保证灵活精密测量
应用范围	各种透镜，超精密旋转体研磨表面工件等