|
 |
系列化产品以适应不同检测需求 独特的宽测量范围，高分辨率使得轮廓形状和粗糙度参数能同时精确测量 测头量程 1mm/10mm 分辨率 0.6nm/0.04mm，12.8nm/10mm 行程 50mm或120mm 参数测量精度 2%  4nm |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 选择合适的产品 所有的Form Talysurf驱动箱都支持编程操作，适用于尺寸、形状和粗糙度的测量。 采用如下措施保证杰出性能： 绝对位置控制 无波节皮带传动 高精度的直线度 数据采集间隙达0.25  m(10in)电感式驱动箱 可提供50mm(1.97in)或120mm(4.72in)两种规格的驱动箱，如果不需要立柱平台，这两种驱动箱都可以提供成自由式。 PGI驱动箱 所有的PGI驱动箱都有120mm(4.72in)驱动长度。标准的PGI系统适用于大多数宽量程，高精度的应用。 超精测量系统 为最高等级的制作精度专门设计，该系统提供： PGI+传感器 极低的系统噪声 10mm量程 0.8nm分辨率 非球面测量系统 对于光学领域的应用，一种PGI+的高性能型号可被提供。经过改进的基准直线度可以使形状误差测量达到很高精度，还包括一个 隔振装置以减小不利的环境影响。 技术指标
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 环境（适用于PGI和电感系统） | 电源（PGI系统和电感系统都适用） |
储存温度 5-40 |
电源类型 交流，单相，接地（3线制） |
| 存储湿度 10%-80%相对，无结露 | 仪器和计算机电压 90V-130V或200V-260V （可开关选择） |
| 工作温度： 电感系统 15-30 PGI 系统 18-22 |
频率 47Hz-63Hz |
| 温度梯度 <2/小时 |
瞬态电压宽度 不小于2微秒和不大于20微秒 |
| 工作湿度： 电感系统 10%-80%相对，无结露 PGI 系统 45%-75%相对，无结露 |
功率 150VA |
| 最大地面振动（RMS）<50Hz时，3m/秒 >50Hz时，6 m/秒 |
EMC安全规范 EN 61010-1:2001 EN 61000-6-4:2001 EN 61000-6-1:2001 |
|
水平性能
|
120mm电感 50mm电感 | ||
| 移动长度－Ｘ最大／最小 |
120mm/0.1mm（4.72in/0.004in）
|
50mm/0.1mm（1.97in/0.004in）
|
|
移动速度－名义测量速度 |
最大10mm/秒（0.39in/s）-0.5mm秒和1mm/秒（0.02in/s和0.04in/s）
|
||
| Ｘ方向数据采集间隔 |
0.025
m[0.5至30mm移动长度]（10in
[0.02in to 1.18in] ）1 m[30mm至120mm移动长度]（40in
[1.18in to 4.72in] ） |
||
直线度的不确定度（Ｘ为长度） |
（0.06+0.0037 X [mm]）
m（2.4+3.7 X [inches]） in |
立柱
|
（0.06+0.007 X [mm]）
m（2.4+7 X [inches]） in |
|
（0.12+0.0074 X [mm]）
m（4.8+7.4 X [inches]） in |
无立柱
|
（0.06+0.007 X [mm]）
m（2.4+7 X [inches]） in |
|
Ｘ轴指示不确定度（X为长度） |
（0.3+0.003 X [mm]）
m
（11.8+30 X [inches]）in
|
||
|
垂直性能
|
120mm电感 50mm电感 | ||
| 名义测量范围（Z） |
1mm[60mm 测杆]（0.04in[2.36in]）
2mm[120mm 测杆]（0.08in[4.72in]） |
||
分辨率（Z） |
1mm量程时为16nm（0.63
in 0.039in）0.2mm量程时为3nm（12 in0.008in）0.04mm量程时为0.6nm（0.024 in0.0016in）
|
||
| 量程与分辨率之比 |
65,536:1
|
||
| 测杆长度、针尖尺寸和测力 |
60mm测杆，2mm半径锥形金刚石测针，1mN测力
120测杆，0.5mm半径球，20mN测力-选购 |
||
| Z轴非线性度（Z传感器位移） |
（0.1+0.05 Z [mm]）
m
（4+50 Z [inches]）in-标定后 |
||
| Z轴指示值的重复性 |
平明-典型值0.05
m（2in） -曲面-典型值0.10m（4in） |
||
|
系统性能
|
120mm电感 50mm电感 | ||
| 球标定标准 [标定球半径的不确定度] |
1mm量程用半径名义值为12.5mm（0.49in）标定球[0.4
m（15.7in）]2mm量程用半径名义值为22mm（0.87in）标定球[0.4 m（15.7in）]
|
||
标定不确定度-Pt |
0.25
m[60mm
测杆]（10in[2.36in]）0.5 m[120mm 测杆]（20in[4.72in]） |
||
系统噪音-Rq |
立柱10nm（0.4
in）无立柱15nm（0.6 in） |
立柱15nm（0.6
in）无立柱15nm（0.6 in） |
|
| 表面粗糙读参数的不确定度 |
2%+4nm（0.16
in）只适用于高度参数 |
||
半径测量的不确定度 |
0.1-12.5mm（0.004-0.49in）时，名义值的1-0.02%
12.5-25mm（0.49-0.98in）时，名义值的0.02% 25-1000mm（0.98-39.4in）时，名义值的0.02-0.1% |
||
| 角度测量的不确定度 |
0.5角分（
35
最大范围时） |
||
| 温度引起的半径变化 |
12.5mm半径时，4
m/ |
||
| 外形尺寸LxDxH（驱动箱） |
396X127X195mm（15.6X5X7.7in）
|
374X114X125mm（14.7X4.5X4.9in）
|
|
| 重量（驱动箱） |
11.5Kg（25lbs）
|
7.5Kg（16.5lbs）
|
|
| 上述技术数据是在环境控制的计量实验室 得到的： 20 1无气流已隔离地面低频振动根据ISO指导性文件-测量中扩展的不确定 度表达(GUM:1993)的建议，上述不确定度 的置信度为95% 注意： 泰勒·霍普森遵从随着技术进步不断改进 所有产品的政策，因此保留实际数据与样 本规格不符的权利。 |
1 测量表面粗糙度时，推荐使用0.5mm/秒 的速度。 2 使用60mm金刚石测针，分析使用未滤波 和  s=2.5mm。3 使用60mm金刚石测针。 4 使用60mm金刚石测针（电感系统用标准 传感器，订货号：112-2564） 5 使用60mm金刚石测针，上下35 倾角，在传感器的80%量程段测量。 |
6 在一个平晶上重复测量，平晶与基准名 |
 |
 |
||||||||||||||||
|
|||||||||||||||||
 |